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（中央社記者林孟汝台北2012 年8月7日電）台積電董事長張忠謀今天表示，台積電加入半導體設備廠艾司摩爾（ASML）客戶聯合投資專案，資助其研究發展，是「義不容辭」。

至於媒體追問，台積電資本支出暴增是否會損及股東權益？張忠謀指出，台積電對任何財務規畫都很保守，今年現金股利一定會保3。

台積電5日宣布，加入ASML客戶聯合投資專案；根據協議，台積電將投資ASML達8.38億歐元，取得ASML約5%股權，未來5年並將投入2.76億歐元，支持ASML的研發計畫。

張忠謀表示，ASML在EUV微影及浸潤式微影技術可說是獨領風騷，也是台積電非常需要的，這次ASML邀請台積電入股，資助其研究發展，台積電「義不容辭」。

他說，何況，ASML以前研發表現出色，未來ASML股價上漲，台積電也會同享其利。

台積電執行副總經理暨共同營運長蔣尚義5日表示，台積電挹注ASML研發經費，將確保並加快EUV微影技術開發，同時提高既有光學微影工具效能，促進18吋晶圓製造技術的快速發展，將有助半導體業控制晶圓成本。1010807